高阻高壓表在非接觸式靜電電壓表計量校準中的應用

非接觸式靜電電壓表用于半導體車間、潔凈廠房靜電風險巡檢，依靠感應方式測量物體表面靜電電位。儀器使用一段時間后測物、內部電路會發生漂移，需要定期用標準高壓源搭配標準高壓表完成計量校準。普通高壓測試設備輸入阻抗不足，在校準工裝中會改變標準場強，造成校準誤差。Huace-105S 高阻高壓表成套配置高阻臂，≥30GΩ 輸入阻抗，可達 100kV 量程，具備模擬輸出，可作為標準表完成非接觸靜電電壓表的量值比對校準。

一、非接觸靜電電壓表傳統校準痛點

標準高壓表輸入阻抗偏低，改變校準極板實際電位 校準工裝中高壓極板接標準電壓源，如果標準電壓表輸入阻抗不夠，會對極板形成泄放回路，極板實際電壓低于源輸出設定值，被校靜電表得到錯誤校準系數。

無法觀測電壓建立瞬態過程，只做穩態點校準 非接觸靜電表響應時間指標需要觀測電壓階躍變化，老式設備只能讀取穩態電壓，無法評價被校設備動態響應指標。

高壓分壓部件不成套，分壓比無法溯源 自行搭配外購高壓分壓測物，缺少統一出廠標定，分壓系數漂移，整套校準系統量值無法溯源。

缺少波形輸出接口，動態響應指標難以判定 無示波器輸出端口，階躍電壓下被校表響應波形無法記錄，響應時間參數只能依靠主觀估算。

無數字通訊，多點位校準數據人工錄入工作量大。

二、高輸入阻抗標準表，維持校準極板電位穩定

Huace-105S 配備原廠成套高阻臂與底座，輸入阻抗≥30GΩ，并聯在校準極板上的泄放電流極小，大程度不干擾極板的標準電位，為非接觸靜電電壓表提供真實可靠的電壓參考。測量范圍 ±50V-100kV，覆蓋市面上絕大多數非接觸靜電電壓表的量程；5kV 以上測量準確度 ±1%，滿足作為比對標準表的準度需求。

三、高速采集，支持靜態校準點與動態響應同步測試

500 讀數 / 秒高速采集，除完成各檔位穩態校準點比對之外，可捕捉階躍高壓建立全過程；BNC 示波器輸出端口可以輸出實時電壓波形，結合被校靜電表輸出信號，對比得到被校儀器的響應時間、過沖等動態指標，不止完成靜態示值誤差校準，還可以評價動態性能。大 LED 屏幕方便校準工位現場讀數。

四、成套標定高壓組件，保障計量溯源性

主機、高阻臂、底座整套出廠標定，分壓參數明確，避免零散外購配件帶來的量值失準。RS-232 接口可連接計算機，各個校準檔位的標準示值、被校表示值自動記錄，生成校準原始記錄，減少人工抄寫錯誤。