晶圓微區(qū)探測變溫探針臺(tái)

產(chǎn)品參數(shù)

臺(tái)體參數(shù)

水平旋轉(zhuǎn)：可360°旋轉(zhuǎn)，可微調(diào)15°，精度0.1°，帶角度鎖死裝置

X-Y移動(dòng)行程：4英寸*4英寸（卡盤X-Y軸無間隙移動(dòng)）

X-Y移動(dòng)精度：1μm

樣品固定：不低于4″卡盤，采用中間吸附孔和多圈吸附環(huán)固定樣品，均單獨(dú)控制，中間吸附孔下限可以選擇250微米

針座平臺(tái)：U型針座平臺(tái)，可同時(shí)容納2~4個(gè)CB-100探針座同時(shí)點(diǎn)測；帶有鎖定旋鈕夾盤，可以附加單獨(dú)的校準(zhǔn)片載臺(tái)

樣品臺(tái)調(diào)節(jié)：平臺(tái)可升降調(diào)節(jié)適合加裝探針卡，便于針卡重定位

顯微鏡參數(shù)

顯微鏡環(huán)繞立柱旋轉(zhuǎn)式設(shè)計(jì)，便于快速移動(dòng)顯微鏡，顯微鏡移動(dòng)范圍覆蓋樣品臺(tái)；卡盤可做電極引出信號(hào)進(jìn)行雙面測試。

總放大倍率：16倍~100倍

變焦：0.8倍~5倍

CCD：帶CCD接口和0.4XC-mount；下限分辨率至2μm

鏡座：雙目觀察傾斜45°，雙瞳距調(diào)節(jié)范圍：52~75mm，傾斜360°旋轉(zhuǎn)

X,Y,Z軸方向調(diào)節(jié)范圍：＞50.8mm，調(diào)節(jié)精度小于2μm

工作距離：115mm，加裝2倍輔助鏡工作距離40mm

光源：帶外置LED高亮無極調(diào)節(jié)亮度環(huán)形光源

溫控參數(shù)

溫度范圍：室溫~400℃

分辨率：0.1℃

控溫精度：0.1℃

溫度穩(wěn)定性：±1℃

公司簡介

Beijing Hua Ce Testing Instrument Co., Ltd. is a national high-tech enterprise, reviated as Hua Ce Instrument.    It is a company engad in research and development, production and manufacturing.    The company has a functional materials electrical laboratory and an electrical insulation materials electrical laboratory.

The products involve material testing instruments, signal amplification and conditioning, data acquisition and control, comprehensive performance evaluation of sensors, etc.