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產(chǎn)品詳情

  • 產(chǎn)品名稱：真空晶圓退火爐 半導(dǎo)體陶瓷

  • 產(chǎn)品型號(hào)：Huace-1200G
  • 產(chǎn)品廠商：華測(cè)儀器
  • 產(chǎn)品價(jià)格：0
  • 折扣價(jià)格：0
  • 產(chǎn)品文檔：
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詳情介紹：

半導(dǎo)體陶瓷真空晶圓退火爐

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應(yīng)用領(lǐng)域
電子材料
 ? 半導(dǎo)體用硅化合化的PRA
 ? 熱源薄膜形成
 ? 激活離子注入后
 ? 硅化物的形成
陶瓷與無(wú)機(jī)材料
 ? 半導(dǎo)體用硅化合化的PRA
 ? 陶瓷基板退火爐
 ? 玻璃基板退火爐
 ? 陶瓷張力、撓曲試驗(yàn)退火爐
鋼鐵和金屬材料
 ? 薄鋼板加熱過(guò)程的數(shù)值模擬
 ? 爐焊接模擬
 ? 高真空熱處理
 ? 大氣氣體熔化過(guò)程
 ? 壓力下耐火鋼和合金的熱循環(huán)試驗(yàn)爐
其他
 ? 高溫拉伸壓縮試驗(yàn)爐
 ? 分段分區(qū)控制爐
 ? 溫度梯度爐
 ? 爐氣分析
 ? 超導(dǎo)陶瓷退火爐


參數(shù)規(guī)格
溫度范圍：RT~800/1200/1450°C
升溫速度：＜100℃/s可編程（此溫度不含載盤的升溫速度）
＜25℃/s（SiC載盤）
溫度均勻度：±5 °C（≤ 500 ℃） 
±1 %（> 500 ℃）
溫度控制重復(fù)性：±1 °C
溫控方式：PID 溫控


公司介紹
Beijing Hua Ce Testing Instrument Co., Ltd.

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